20年前，在浑河南岸这片朝气勃发的热土上，沈阳芯源先进半导体技术有限公司厂区掀起了第一锹土。这一锹土，播下“芯”种子，也掘开了东北老工业基地奔向新经济的又一个出口。集成电路(IC)被誉为现代工业的“粮食”，20年间，芯源微、拓荆科技、富创精密、沈科仪等企业在沈阳快速发展，这些高科技企业的产品，占据了中国集成电路(IC)装备产业链条的关键环节，由此也聚集成沈阳“芯”高地。

奔跑

沈阳IC装备企业的共同关键词

沈阳现有IC装备企业18家，其中整机企业7家，配套企业11家。作为国内IC装备产业的三大重点地区之一，在近20年来，沈阳推动产业自主发展，集聚和培育出了一批优势骨干企业，在薄膜沉积、涂胶显影、湿法刻蚀、清洗机等整机装备和罗茨干泵、真空机械手等关键单元部件等方面均形成了独具特色的产业体系和批量生产能力，产品种类覆盖沉积、光刻、刻蚀、封装多个工艺领域，建立起完整的IC装备产业链条。

“相比其他城市，沈阳集成电路装备产业的链条比较完整。”沈阳市工信局相关负责人指出，沈阳IC装备产业链上游拥有富创、新松、中科仪、硅基、中科博微等企业，能够供应反应腔、真空干泵、机械手、SOI材料等零部件和控制系统；产业链中游为整机装备制造商，拥有芯源微、拓荆、仪表院等企业，可以进行薄膜设备、涂胶显影机、划片机等IC整机制造和系统集成；产业链下游拥有中电科第47所和仪表院等企业，从事集成电路制造和封测。

芯源微的前身沈阳芯源先进半导体技术有限公司，由中科院沈阳自动化研究所发起创立。从一家名不见经传的小型企业，到2012年获批承担国家02科技重大专项，再到2021年产值突破10亿元，已然成长为“小巨人”。“我们一直在奔跑。”沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事长宗润福表示。“奔跑”也成为沈阳IC装备企业的共同关键词。

抱团

在浑南区形成集成电路产业集群

2022年一季度，芯源微实现营业收入1.84亿元，同比增长61.99%，不断刷新业绩增长纪录。这份靓丽的季报是沈阳IC装备产业快速发展的一个缩影。

确实，经过多年培育，沈阳集成电路产业规模逐步壮大，产业类型日渐丰富，迅速进入发展“快车道”。“十三五”期间，沈阳IC装备产业实现连续五年稳定快速增长，年均增长率达到10.1%，已经形成了“一项控制系统技术、八类重要整机装备、一批关键单元部件和一个精密零部件支撑平台”的配套体系和批量生产能力。据沈阳市工信局统计，今年1-3月份，沈阳集成电路产业完成产值12亿元，同比增长48%。

中国集成电路产业领头人、中科院微电子研究所所长叶甜春在沈阳考察时曾指出，沈阳在国家集成电路版图布局中，具有非常独特的位置并具备良好的基础，在浑南区形成了集成电路产业集群。

在这个集群中，芯源微是辽宁省科创板第一股，拓荆科技也在上个月完成上市，富创精密则在本月初IPO顺利过会……这标志着沈阳IC装备产业“上市军团”持续壮大，产业抱团发展形势良好。集成电路制造关键装备产业的崛起也带动相关配套供应商纷纷来沈投资落户，芯源微副总裁顾永田表示，“随着我们公司自身产值的增长，必然带动配套企业的技术升级，形成更具核心竞争力的技术制高点。”

蓄势

IC装备发展为沈阳转型增添“芯”动能

目前，沈阳与北京、上海，已构成我国IC装备产业发展的三大重点地区。

业内人士分析称，作为老工业基地，沈阳的工业加工基础非常雄厚，为高端设备的生产提供了技术积累；同时，受国际形势影响，国内半导体产业链迎来黄金发展期，国产替代市场空间巨大，行业景气度持续向好。当前，锁定“创新”和“产业”的沈阳，正在抢抓新一轮发展机遇，聚力创“芯”、聚势发展，加快集成电路产业延链补链强链，全力打造中国集成电路装备产业“芯”高地。

沈阳IC装备产业已形成以芯源微、拓荆科技、富创精密、沈科仪为代表的半导体装备和零部件体系，半导体产业集群的打造也将持续强化，通过鼓励龙头企业科研攻关，引入、培育上下游企业等方式，构建更加完善的半导体产业链，打造新兴产业“联合舰队”。

“发展集成电路装备产业投入虽大，但发展后劲足，产业先天具有韧性强等特点，将为正处于转型期的沈阳带来源源不断的新动能。”沈阳市工信局相关负责人表示，决胜“芯”时代，沈阳将不遗余力提供最专业的载体支撑、最完备的要素保障、最优质的营商环境，推动企业携手科研界深化合作、协同创新，共同“破冰”关键核心技术，携手开拓更多“针尖”领域，推动沈阳IC装备产业发展闯出一条强“芯”之路。

赋能

可尝试“事业合伙人”激励制度

人才是创新的动能，更是企业生存发展的关键。集成电路产业市场空间很大，门槛也很高，人才缺口巨大，资深的半导体行业专家和应用技术研发人才，尤其是高端人才、核心技术骨干的引入，成为沈阳IC装备产业的迫切之需。近年来，芯源微的员工规模不断扩大，截至2021年底，员工人数已超过600人，今年人员规模将继续增长。据了解，芯源微为了吸引人才、留住人才，除了企业原始股东激励外，公司两期股权激励已覆盖员工139人次。“工资+股权激励”的薪资结构，比其他企业更具有吸引力。

就此，辽宁大学商学院人力资源管理系教授李博认为，集成电路(IC)装备产业人才吸引力，不仅在于物质方面的“硬件”，也要重视事业发展、生活环境、文化归属等“软件”建设。

她进一步分析说，政府在人才发展上要有“长期观念”，并“放眼全球”，能够营造满足“公平”与“发展”需要的和谐环境。产业层面，可借助行业联盟等合作组织，联合引进人才，以充分实现人才价值，并满足其回报预期。建立行业人才数据库，提高人才配置和利用效率。企业方面，创新人才管理方式，可采用“事业合伙人”激励制度，以实现风险共担、利益共享的长期激励；注重组织目标和个人事业目标协调的职业生涯规划管理等。

沈阳晚报、沈报全媒体记者 谷丽红 王丽　摄影记者 王勇

关键词： 集成电路